DSP-110

解像度1.5 μm（L/S）向けに光学系を再設計することで、「DSP-100」からスループットを約40%向上させました。≦ ± 0.3 μmの高い重ね合わせ精度に加え、72panels / hourのスループットを実現します。これにより、お客様の生産効率向上とトータルコスト低減に寄与します。

光学系の再設計により、フォーカスマージンを「DSP-100」から拡大させました。多様な基板条件に対して安定したパターニングを実現し、歩留まりと量産安定性の向上に貢献します。

アドバンストパッケージングの技術進化に伴い、RDL（再配線層）向けの露光装置にはより高い解像度が求められていくと予想されます。「DSP-110」は、光学系を交換することで、解像度1.0 μm（L/S）の装置に改造可能であり、お客様の将来的なプロセス高度化にも柔軟に対応します。