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デジタル露光装置
DSP-110
仕様
仕様一覧
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| 型式 | DSP-110 | |
|---|---|---|
| 解像度 | 1.5 μm L/S | |
| 露光光源 | i線相当 | |
| 対応基板サイズ |
角型基板：310 × 310 mm、510 × 515 mm、600 × 600 mm、730 × 920 mmほか ウェハ：300 mmほか |
|
| 重ね合わせ精度 | ≦ ±0.3 μm | |
| スループット | 72 panels/hour ※ （510×515 mm基板の場合） | |
お問い合わせ
株式会社ニコン
精機事業本部 半導体装置事業部
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